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钛泵件的电源和性能

2021-05-25 11:48:13

钛泵的电源是高内阻电源,其空载输出电压在3~7KV间,但负载电流大时,输出电压降至400V左右。一般溅射离子泵使用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额定电压与磁场强度下的放电电流Iion(mA)与压强P(Torr)有一定的曲线关系。所以通过离子泵电源可反映出压强的大小。

泵电源的面板上显示有:输出直流高压和钛泵放电电流等。

(1) 极限压强:10-8帕

(2) 抽速:

钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关,磁场强时抽速也大,对应蕞佳抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升/秒、5升/秒。对于需要大抽速的场合,可用基本结构单元并联的方式使抽速达到50升/秒、100升/秒等。

(3) 启动压强:10-2帕

(4) 寿命

泵体

a、阴极耗尽寿命

阴极钛板因溅射穿通而使泵无法使用。

b、阳极剥落寿命

阳极内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落,导致泵内压强的不规则强烈变化,使泵无法使用。

c、阳极吸饱寿命

阳极上吸附和溶解了大量的氦气、氢气,当达到饱和状态时泵不能再吸附气体。

在正常使用情况下,溅射离子泵的寿命可达几万小时。




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