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钛泵的电源是高内阻电源，其空载输出电压在3~7KV间，但负载电流大时，输出电压降至400V左右。一般溅射离子泵使用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额定电压与磁场强度下的放电电流Iion（mA）与压强P（Torr）有一定的曲线关系。所以通过离子泵电源可反映出压强的大小。
泵电源的面板上显示有：输出直流高压和钛泵放电电流等。
（1） 极限压强：10-8帕
（2） 抽速：
钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关，磁场强时抽速也大，对应蕞佳抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升/秒、5升/秒。对于需要大抽速的场合，可用基本结构单元并联的方式使抽速达到50升/秒、100升/秒等。
（3） 启动压强：10-2帕
（4） 寿命
a、阴极耗尽寿命
阴极钛板因溅射穿通而使泵无法使用。
b、阳极剥落寿命
阳极内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落，导致泵内压强的不规则强烈变化，使泵无法使用。
c、阳极吸饱寿命
阳极上吸附和溶解了大量的氦气、氢气，当达到饱和状态时泵不能再吸附气体。
在正常使用情况下，溅射离子泵的寿命可达几万小时。
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