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钛泵的原理与故障分析

2021-06-24 10:17:06

 简单介绍了钛泵的工作原理。溅射离子泵在高电压和高磁场的作用下产生潘宁放电,吸附容器内气体分子达到真空的目的。由于设备老化或操作不当等原因,溅射离子泵会发生各种故障。本文列举了溅射离子泵的各种常见故障,根据工作机理分析了溅射离子泵发生故障的原因,并介绍了排除故障和维护保养的方法。对于钛泵的操作使用人员和维修人员具有一定的借鉴意义。


真空技术与电光源工业的发展有着密切的联系,在整个电光源工业中到处都涉及真空技术问题。能否获得高质量的真空决定了生产出的光源产品的质量高低。因此,用来获得真空的真空泵在电光源的制造过程中起着至关重要的作用。钛泵是真空泵的一种,但它不同于普通的压缩型泵。钛泵没有转动机构,也不使用真空泵油,它采用俘获气体分子的方式除气,能得到清洁的高真空,这对于提高光源质量有很大的帮助。但是,钛泵特殊的除气原理和特殊的结构使其与普通的真空泵的操作、保养和维修都有所不同。


泵体


钛泵的工作原理真空的实质就是具有较低气体分子浓度的空间。因此,只要降低空间的气体分子浓度就能获得真空,而不必有实际上的排气过程。钛泵正是基于此原理制造的。


通过加热、电离等方法使钛原子与空间气体分子发生一系列复杂的物理和化学反应,使气体分子伴随钛原子一起沉积下来,从而达到降低空间气体分子浓度的目的。这就是钛泵的基本工作原理。这与压缩泵的原理( 即将气体从一方压缩到另一方来获得真空) 有所不同。





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